在材料領域中，掃描電鏡顯微鏡發(fā)揮著極其重要的作用，被廣泛應用于各種材料的形態(tài)結構、界面狀況、損傷機制及材料性能預測等方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產(chǎn)生過程，可以觀察金屬材料內(nèi)部原子的集結方式和它們的真實邊界，也可以觀察在不同條件下邊界移動的方式，還可以檢查晶體在表面機械加工中引起的損傷和輻射損傷等。
 

　　掃描電鏡顯微鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統(tǒng)兩部分。鏡體部分由電子光學系統(tǒng)、信號收集和顯示系統(tǒng)以及真空抽氣系統(tǒng)組成。
 

　　電子光學系統(tǒng)：由電子槍，電磁透鏡，掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束，作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
 

　　信號收集及顯示系統(tǒng)：檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。現(xiàn)在普遍使用的是電子檢測器，它由閃爍體，光導管和光電倍增器所組成。
 

　　真空系統(tǒng)：真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染。
 

　　電源系統(tǒng)：電源系統(tǒng)由穩(wěn)壓，穩(wěn)流及相應的安全保護電路所組成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。
 

　　掃描電鏡試樣制備比較簡單。在保持材料原始形狀情況下，可以直接觀察和研究試樣表面形貌及其它物理效應(特征)，這是掃描電鏡的一個突出優(yōu)點。掃描電鏡的有關制樣技術是以透射電鏡、掃描電鏡顯微鏡及電子探針X射線顯微分析制樣技術為基礎發(fā)展起來的，有些方面還兼具透射電鏡制樣技術，所用設備也基本相同。